Numerical Controlled Processing Techniques for Optical Components

Comparied to traditional optical processing methods, numerical controlled surfacing techniques have irreplaceable effects especially in spherical and aspherical optics. In this paper, fabricating methods, mechanisms and processes are analyzed. Also, some processing difficulties and problems are discussed. The possible improvements and feasible methods are given.     

二次非球面光学零件的轨迹成形法加工新技术

主要论述轨迹成形法加工非球面光学零件新原理的基本思想、成形原理、机床的基本结构以及与数控加工比效率高成本低的优点。     

轨迹成形法加工非球面光学零件新技术的研究--轨迹成形法加工非球面光学零件新原理

本文主要论述轨迹成形法加工非球面光学零件新原理的理论依据、机床的基本结构和成形原理以及相对于数控加工的优点.     

大行程超精密二维运动平台定位系统的研制

为了解决光学二维线纹标准器的量值溯源和校准以及掩膜板的高精度测量,设计了高精度激光二坐标标准装置.在装置中研制了一套超精密二维运动定位平台,该平台利用双频激光干涉仪测长作为位置反馈,直流力矩电机回转轴作为摩擦轮,通过滑动摩擦力驱动滑动光杆前后移动X-Y气浮平台,该运动定位系统具有运动平稳、重复定位精度高、测量行程大于300 mm以及最小步距分辨力为10 nm的特点,可以满足高精度激光二坐标标准装置要求的大行程、微进给和纳米级定位精度的要求.     

轨迹成形法加工非球面截取轨迹的误差权重分析

介绍了轨迹成型法加工装置的结构原理和加工方法,分析了截取参数(α,θ,L)与非球面度G之间的关系,G对α,θ,L的导数相对于θ和α的变化率,归化后,分别在0～100,-800～600,-4000～2000范围内.并进一步分析了(α,θ,L)与初级像差之间的关系,证明了两者之间的一致性.最后指明了机床设计时,为保证加工精度,应依次严格控制α,θ,L.     

A New Locus Shaping Method of Quadric Aspheric Parts

The original idea and shaping principle of locus shaping method for processing the aspheric optical parts are introduced, and the partial structure of the machine tool designed is described. The method has the advantage of high efficiency and low cost compared to the numerical control method. And it is proven that the method is feasible.     

基于运算放大器的小型电涡流传感器设计

为了使电涡流传感器提高灵敏度,减少功耗,适应狭小空间的特殊工作环境,提出了一种基于运算放大器的小型电涡流传感器电路,利用仿真软件对振荡电路的参数进行优化,设计了电涡流传感器.同时,选用高分辨力的测量单元瑞士TESA电感测微仪TT80对电涡流传感器进行静态标定,制作了电涡流传感器静态标定系统.仿真研究和实验结果表明,基于...     

齿轮测量中心的校准方法探究

齿轮测量仪器的发展经历了从机械展成式测量技术到计算机控制的坐标测量法的历程.通过对齿轮测量仪器发展过程的回顾,阐述了齿轮测量中心的机械结构及工作原理,对几何误差的来源进行了重点分析,并提出了几种简单实用的校准方法.     

高精度直径和形状综合测量技术的研究

直径和形状参量是表征回转体工件不同特性的两个参量,在常规的高精度测量中直径和形状是分别测量再合成表征的,其合成测量不确定度会增大,测量时间比较长.为了满足回转体类工件超精密制造精度不断提高的要求,需要研究不确定度为0.1μm的直径和形状综合测量技术和方法.根据直径和形状的测量原理、实现和评价方法间的差异,提出了制约超精密直径和形状综合测量准确度的几个关键技术难点并分析了其相互制约的原因,在解决了这些关键技术难点后,研制了高精度直径和形状综合测量装置,该装置可一次装夹调整工件后,直接测量直径和形状参量.     

高精度位移传感器动静态溯源和校准装置的研制

介绍了高精度位移传感器的动、静态特性溯源和校准原理及其标准装置的结构组成,并对它进行了实验验证.该装置可根据位移传感器在实际测量中的使用状态以及幅频响应范围,生成相应幅频下的标准动态信号并产生标准振动,经过同步采集及频谱分析,可得到在不同频率下相对激光基准的幅相误差.其生成的标准动态信号量值可直接溯源到激光波长,并可对位移传感器实现0～30 μm下的任意间隔的线性校准和1～100 Hz下的动态校准,它还可用于在线传感器的动静态特性的校准.