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随着计算机应用的快速发展,存储系统在硬件和软件方面都已经从主机系统中脱离出来,成为完全独立的系统。存储系统的可连接性、可持续性和具有多种软件功能的三大特点,导致了存储系统管理的复杂性,虚拟存储技术也由此应运而生。 相似文献
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双探针对顶测量可以有效地消除传统原子力显微镜(AFM)的探针形状对关键尺寸(CD)测量的影响。测量前需要将两个探针针尖(A和B)接触到一起作为测量零点,为实现双探针纳米级对准,提出一种渐进式平面扫描方法。首先,通过视觉图像引导两个探针对准到1μm以内。然后,两个探针继续接近,同时探针A在YOZ平面内对探针B扫描成像,并逐步缩小扫描范围和扫描步进,得到其针尖的纳米级坐标(YB,ZB)。最后,将探针A在Y和Z方向分别移动至YB和ZB,在X方向继续接近探针B直至两探针接触。实验证明,该方法可有效地实现双探针对准,且对准精度为10 nm。 相似文献
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