磁控溅射铜靶材的刻蚀行为

主要研究了磁控溅射铜靶材刻蚀行为.通过改变同轴线圈中励磁电流的大小来调节铜靶表面磁场的分布,研究不同励磁电流及时间下刻蚀环的形貌,并研究了刻蚀形貌随时间的变化规律.采用轮廓仪测量靶材刻蚀环的轮廓.结果表明,采用不同励磁电流的靶材刻蚀形貌为高斯曲线状,刻蚀深度与励磁电流及刻蚀时间呈线性关系,刻蚀环的宽度随刻蚀时间的增加先增加,然后达到一个固定值34 mm,刻蚀环的中心位置距靶圆心的距离随励磁电流增加从26 mm减小到20 mm.     

烧结温度对反应热压烧结制备ZrB2-ZrC-W2Zr复合材料组织和力学性能的影响

以B_4C、Zr、W为原料,采用反应热压烧结工艺制备了ZrB_2-ZrC-W_2Zr复合材料,系统研究了烧结温度对复合材料组织结构和力学性能的影响规律。结果表明,复合材料主要由ZrB_2、ZrC、W_2Zr和少量的W组成,随着烧结温度从1 600℃升高到1 900℃,W的含量略有增加,W_2Zr的含量略有减少,ZrB_2晶粒的形态由针状向板条状转变,晶粒尺寸逐渐增大,而长径比逐渐减小。复合材料的抗弯强度和断裂韧性随着烧结温度的升高先增大后减小,在1 850℃出现峰值,分别达到约560 MPa和5.5 MPa·m~(1/2)。