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采用质量分析的低能离子束外延法生长了半导体性质的β-FeSi_2外延薄膜.就我们所知,在用同类方法的研究中,国际上尚属首次.AES测量及RHEED观察肯定了外延的β-FeSi_2的存在;垂直入射的光透射谱又证实了外延膜是具有直接禁带的、禁带宽度为~0.84 eV的半导体性质的薄膜.室温下的霍耳迁移率μH达600 cm~2V~(-1)s~(-1),比文献报道高两个量级. 相似文献
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采用质量分离的低能离子束外延(MALE-IBE)技术进行超薄硅外延生长,在600C下获得单晶硅外延层,厚度2000A,过渡区宽度小于500A。有较好的电学性质。 相似文献
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本文报道了利用质量分离低能双离子束淀积法在硅氧化硅图形衬底上采用不同的工艺条件淀积钴(Co)离子,并生长硅化钴薄膜.扫描俄歇微探针(SAM)和X光电子能谱(XPS)测量结果表明,只在纯硅区探测到了硅化钴;而氧化硅区始终未见有钴的迹象.很好地实现了在图形衬底上钴离子的选择淀积和硅化钴薄膜的选择生长. 相似文献
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<正> 一、引 言 近年来,围绕着如何提高蓝宝石上的硅外延薄膜(SOS)的质量和降低其成本这两个主要目标,在成膜工艺和方法上,各国科技工作者都进行了大量的探索和研究,并且取得了一定的成就.影响蓝宝石上的外延硅薄膜结构和电学性质的重要因素之一是Al_2O_3衬底的自掺杂作用.而这种自掺杂无论是在外延的工艺过程中还是在随后的器件工艺中,都是有害的,并且随着温度的升高而加剧,因此,SOS的低温工艺是当前研究课题之 相似文献
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<正> 用离子团束法来外延半导体材料是低温外延的一种可能途径.所谓离化团束外延(ICBE),其特点是在薄膜的外延过程中,引入了一定数量的具有一定能量的离子.在ICBE情况下,外延材料在喷射炉中被加热成零点几个托到 10~(-2)托的蒸气喷入10~(-5)托左 相似文献
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本文采用质量分析的低能离子束外延法(以下简称IBE法)在Si(111)衬底上外延生长了β-FeSi2薄膜,并进行了X射线衍射测量分析;与扫描电镜配合验证了β-FeSi2外延薄膜的形成.实验结果表明:所得β-FeSi2(101)或(110)面基本平行于Si(111)面,验证了Si(111)上β-FeSi2外延薄膜的形成;并对失配度做了精确的计算;薄膜形貌呈岛屿状分布,同时分析了生长条件对薄膜形貌的影响. 相似文献
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用质量分离的离子束外延(MALE-IBE或简作IBE)法在n-Si(111)上生长了CoSi2超薄外延膜.厚度为10~20nm的CoSi2薄膜的结构特性已由AES、RHEED及RBS作了研究.实验结果表明Co的淀积率对CoSi2单晶生长来说是一个关键因素 相似文献
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一、前言 Si外延方法是很多的,但如何实现低温外延仍然是当前尚待解决的问题之一。最近发展起来的离子束外延是解决该问题的一种途径。部分离化束外延是一种形式的离子束外延,其特点是具有一定数量和能量的离子参与了薄膜的外延过程。引入离子的目的是为了使外延材料的质点通过电场的加速而被赋与远高于热动能的附加能量,并且因为材料质点以离子形式存在,其化学活性也会相应地大大提高,从而能有效地影响薄膜的淀积过程,其结果就是降低了薄膜外延生长的温度。 相似文献
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室温下在p-Si(100)上采用直流反应磁控溅射法外延生长了ZnO薄膜。XRD测量表明了ZnO是高度c轴单一取向生长的,XRC测量则表明了ZnO的高质量在室温下的PL测量中见到了带边发射,其强度与晶体质量有关。 相似文献
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