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1.
据美国真空工业部门权威人士说,最近美国真空工业的衰退,比多数厂家所想像的还要快。在过去几年里,虽然许多真空工厂的产值,有了迅速的增长,每年约增加50%,但是在一般国民经济逐渐衰退的前提下,很难期待这种增长率会持续下去。 美国真空设备制造厂,过去曾以半导体工业做为最大的销售市场,自从一年以前,一些工厂的销售额订货额,都已达到饱和。有些工厂则逐渐下降。还有一些工厂生产与销售接近于稳定。生产技术的先进性与应用的灵活性,将缓和经济呆滞的影响。譬如为了节省能源,建筑用玻璃的真空沉积,引起人们的重视,又如由于银价昂贵,一些工厂…  相似文献   
2.
溅射离子泵     
1.前言 可称为溅射离子泵(以下简称离子泵)的前驱Gurewitsch和 Westendorp(1)在 “给编  辑一封信中”命名的。Ionic Pump”是在1954年发表的,距离现在已经23年了。也许因 为当时使用了单个的环形阳极,只能获得5 × 10-7乇(6.7 × 10-5帕)。从潘宁规的工作范围 来看,当时认为这种泵的极限压力就是这个程度,所以并没有引起人们的注意。但是四年以 后,Hall(2),Jepsen(3)等人研制的“Electronic  Ultrahigh Vacuum Pump” 采用了复数圆筒阳极和强磁场,在结构上能进行充分的烘烤,而获得了10-10乇(10-8帕)。 于是开阔了通向实用超高真空…  相似文献   
3.
1.产生高密度金属离子的HCD蒸镀法 过去真空蒸镀和溅镀,曾被光学和半导体工业广泛采用,做为一种近乎理想的无公害镀膜法,代替了温式镀膜,但是进入70年代以来,人们对于这些方法做了认真的研究。尤其是离子镀是有发展前途的代用手段,引起了很多人的注意。所谓离子镀,就是在蒸发物质(金属、合金及无机化合物等)和气体的离子轰击中,使蒸发物质蒸镀到基片表面上的方法:由Mattox创始的离子镀,最初追求良好的粘着性;是在产生气体散射的10-2托压力下进行的1-3)。但是有人批评,在高的压方下镀膜能降低膜的牢,固性,因此进一步研究在或低于、10-3的压…  相似文献   
4.
简介 任何真空系统的性能,都是由真空室的材料、泵和真空计的选择而确定的。获得极高真空(低于10-9帕)的首要条件是使用放气率低的材料。现有的不锈钢和因康镍合金是合适的,这种合金在适当条件下,对于氢的放气率低于10-10帕·米·秒-1(10-13托·升·秒-1·厘米-2)。其次,要确切地了解泵和真空计的低压性能。由于测量和抽气极限之间互相干扰,满足后一要求常常是困难的。我们利用了低温泵提供压强与抽速以及低的已知放气率的材料无关的特点,获得了低于微微帕范围(10-12托)的压强,而且可以容易地求得任何测量装置的低压极限。沿用这种方法,我们…  相似文献   
5.
指出了潘宁放电的理论基本上要考虑电子在阳极附近的收集性的相互作用。研究了强磁场潘宁放电(密度达一万二千奥斯特)以后,提出了计算收气离子泵的抽速和最小工作任强的实验公式,考虑了装入式收气离子泵参数计算法及设计特点。 一、导言 收气离子泵公认的优点是:操作简易,寿命长可靠性大,结构紧凑,没有加热装置和可动部件,系统不受烃的的污染而能够获得超高真空。此外,在真空系统的构成中可以把收气离子泵做为装入式的泵扩大其用途,并应用于粒子加速器及存储环,电子管,空间容器,热核装置等方面。 装入式收气离子泵被装进靠近气体源的抽气系…  相似文献   
6.
防止爆炸危险和提供直接方法来回收废钛的要求,已经促进了在炉体内部任何地方不使用水冷却的500磅废钛回收炉的发展。用自耗或非自耗直流电弧供应热,电极位置保持自动控制。坩埚是凝壳型的,用高压氦冷却系统排出热量。用输送装置在炉工作中添加合金或废料,并能在熔炼过程中取样。通过试车已将炉子组装妥。在试验过程初期出现的坩埚熔穿,没有火花也无危险。从废钛中铸成的坚实铸锭,最重可达548磅。  相似文献   
7.
真空技术     
1.何谓真空(略) 2,真空获得方法 提到真空泵,常使人想起油扩散泵与油旋转泵的机组。实际上常用这种机组获得10-4~10-6毫米汞柱的真空。但如所周知,最近出现了很多其他机组。总之,根据对于真空的要求,可以考虑种种的泵及其机组。对于真空的要求主要有以下几点:1.必要的真空度;2.必要的真空实质(各种剩余气体的分压强);3.在一定真空度下的抽速。 首先谈谈第3项抽速问题。一般工业的大型装置,例如真空冶金炉及真空管的抽气袋置等,必须抽出出现的气体,因而当然大的抽速是必要的。但在抽空物理装置特别是没有特殊气源的真空装置时,如后所述,即使…  相似文献   
8.
“若在冷的表面上造成活性层的话,则钛的抽气作用就大大地增强。对一般气体来说,钛的大抽速为10升/秒厘米2,饱和容量约为1016分了/厘米2,极限压强降到10-10乇以下,而且是很洁净的,所以在许多应用中引起了人们的注意。在低温下,一氧化钛(TiO)具有相同的性质,加之它又能抽除氩气。钛抽气作用特别适于很特殊的问题如核聚变研究装置以及空间模拟室大尺寸的装备中。就此二种情况加以评述” 在低温下钛抽气特性 大约在10年以前发现,如果蒸发到保持有液氮温度的表面上制成新鲜的钛膜,则比在常温下制成的相同的膜,其抽气能力大得多。对N2,CO,O2,C…  相似文献   
9.
由1958年6月1日到1960年12月31日,在日本政府原子能部的协助下,制成了一台凝壳炉,本报告摘要论述了此炉在设计与操作方面的发展情况。目的在于用真空电弧凝壳铸造技术来铸造铀及铀合金燃料棒。 1.凝壳炉概况 凝壳熔炼法是把感应加热熔炼法与利用水冶铜铸型的电弧熔炼法组合一起的熔炼铸造法,这种方法能使钛、锆、铪等活性金属,不跟熔炼中的环境气体以及使用的坩埚,铸型发生反应,而进行熔炼铸造。 1950年初,美国开始研究小型炉(钛铸件10磅以下),1955年左右,进行用大型炉来铸造钛锆(钛铸件100磅左右)[1][2]的研究。最近进行钼-钨合金等高融点…  相似文献   
10.
1960年6月底制成了底注式坩埚开关机构,7月做了试验。第1次报告中简单地介绍了底注式实验的目的及最初数据。1960年9月中旬,用底注式进行了铀的熔炼,下面是到目前为止的实验的中间报告。 作者们的计划,以美国矿务局大型实验炉的底注实验做参考,以完成可靠的底注方式及连续作业的应用为目标。 设计上特别注意了下述几点: (1)不破坏凝壳的问题 矿务局84回实验,由于凝壳破坏而失败了26回(31%)。即初期实验中,因使用了直径11/2时~3时的塞子,故大部份失败了,但之后使用直径6时的塞子而提高了成功率。作者在实验中使用了直径6.5时(166毫米)的底盖…  相似文献   
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