真空管道TiN膜热出气率实验研究

简要叙述了小孔流量法测量材料出气率实验的原理和实验装置，给出了不锈钢溅射镀TiN膜在不同情况下的热出气率，并对影响不锈钢溅射镀TiN膜热出气率情况的各种因素进行了分析，为使用溅射镀TiN膜表面处理的储存环真空室的设计提供了依据。     

真空管道自体溅射镀TiN膜研究

本文详细介绍了长真空管道内表面直流溅射镀TiN膜技术和成膜系统配置。采用真空管道自体真空镀膜方法解决细长管道内表面镀膜问题，特殊的阴极靶结构设计成功地解决了长管道内表面直流溅射镀膜的问题。本实验方法在真空管道内壁获得了均匀的、高品质的TiN膜层，并实现了细长真空管道大面积镀膜过程的稳定性、重复性和一致性。真空管道自体直流溅射镀膜实验中采用的工作原理以及设备简单，操作方便，成本低廉。