石英晶体监控法镀制高精度光学薄膜

讨论了石英晶体监控法在光学薄膜镀制过程中的应用原理。通过与常规的光学监控法镀制的膜层相比较．证实了石英晶体监控法有助于提高光学薄膜的光学品质。试验表明所镀膜层的光学性能优异，在光通信和激光器等领域具有广阔的应用前景。     

滑阀真空泵噪声机理研究

减少环境污染的要求促使生产者提供噪声小的真空泵。为了采取有效的降噪措施,进而在设计阶段就能预估和控制噪声,必须弄清噪声产生的机理。本文以国产H—150滑阀真空泵为研究对象,建立一多输入/单输出的数学模型来描述该泵的振动噪声产生机理,泵的振动噪声信号被同时记录在磁带机上并随后用数字信号处理机进行分析。基于数字信号处理的一些分析技术,如:功率谱、相干函数、频率响应和模态分析,被综合运用来识别泵的振动噪声源。试验结果说明:(1)泵的振动和噪声间存在着很强的因果关系,泵的噪声主要由其振动表面辐射所出;(2)频率为轴的转频及其谐频的周期性激励是泵的主要振动噪声来源,其中尤以周期性的冲击激励起决定性作用;(3)对滑阀在不同转角位置的振动信号进行分析,说明对于这种泵主要的噪声激励来源不是“油锤”作用,而是油气冲击;(4)模态分析的结果表明油箱的若干个固有振动模态被周期性冲击所激发,因其具有较大的声辐射表面而在某些固有频率处产生显著的噪声分量。在此基础上对泵采取了有效的措施,使泵的噪声从80dB(A)降至74dB(A)。     

滑阀式真空泵振动控制的探讨

一、前言 滑阀式真空泵是一种偏心运动机械,它的工作过程,是由偏心轮带动滑阀沿着泵缸壁作圆周运动,而滑阀杆在滑阀导轨中作上下往复摆动,当偏心轮转过上死点后,滑阀将泵缸分隔成吸气和排气两个胶,它们的容积周期地扩大和缩小,达到抽排气之目的。 由于滑阀泵是一种偏心运动机械,因此,要使设计制造出来的泵,得到运转平稳振动小的满意结果,对滑阀泵振动产生的原因和如何加以控制,进行研究和探讨是十分必要的。 二初步分析 影响滑阀泵振动的干扰力,归纳起来,主要有下面三个方面: 1)滑阀惯性力的干扰; 2)偏心轮惯性力的干扰; 3)泵在排气过程中,…     

深高宽比微结构的干法刻蚀

介绍了深高宽比微结构在干法刻蚀过程中遇到的刻蚀滞后、刻蚀中止、侧壁弯曲和开槽效应等与传统器件刻蚀不同的现象,讨论了制作高深宽比结构所需的关键技术和检测手段.     

H—150A滑阀真空泵低噪音设计

现代机械产品的一个重要标志是低噪音，而作为传统观念，滑阀真空泵振动、噪声大。实践证明这一结论可以改变，新设计的Ｈ－１５０Ａ型滑阀真空泵比传统产品振动、噪声有了大幅度的改进。样机主要性能参数指标均达到或接近国外９０年代同类产品水平，振动小，噪声仅为Ｌｗ＝８１．４ｄＢ（Ａ），远远好于国内外同类产品噪声水平，本文介绍其低噪音设计的几个思路，供同行参考。     

高反膜的镀制实践与探索

光学薄膜的厚度对光学元件的性能有决定性的影响,因此精确控制膜厚就成为了关键。分析了石英晶体监控法,介绍了IC/5镀膜自动控制仪。利用IC/5镀膜自动控制仪在现有镀膜机组上镀制出了高性能的高反膜。实验表明所镀膜层的光机性能优异,在光通信和激光器领域具有广阔的应用前景。     

滑阀泵不平衡力的分析

滑阀真空泵是一种容积式真空泵,在工业领域中广泛应用。该泵的旋转活塞平衡长期以来无精确的计算方法,其旋转活塞产生的离心力引起泵的大振动。因此降低该泵的振动长期以来是各国设计者们追寻的目标。文章在分析滑阀泵旋转活塞惯性力的基础上,从理论上分析比较了H－150A,H－150型国产单缸泵及英国GENERAL公司的GKT－300AB型三缸结构滑阀泵的平衡效果。在滑阀泵动平衡的发展方向上提出了自己的看法。     

开拓发展大抽速双级滑阀真空泵

长期以来,我国发展双级滑阀真空泵遇到不少困难和挑战,标准制定后相隔二十多年才有生产2H-150等产品.实际上由于大抽速的双级滑阀真空泵设计制造会遇到动平衡、控制双级供油、降低噪声等一系列的问题,所以其设计制造给厂方带来很大麻烦.但是大抽速双级滑阀真空泵在使用上有很广泛的应用前景,本文介绍大抽速双级滑阀真空泵开拓发展的必要性和介绍研制成功的2H-150滑阀真空泵设计特点,并提出发展更大抽速的双级滑阀真空泵的必要性.