Co—Cr合金膜的X射线线形分析

利用近池数法对Ｃｏ－Ｃｒ合金薄膜的衍射线性形进行分析，并提出用“三线法”确定衍射线的函数类型及其积分宽度，由此可计算薄膜的晶粒尺寸和微观应变。理论计算和实验表明，“三线 法”结合近似函数在线形分析方面是简便，可靠的。通过分析Ｃｏ－Ｃｒ膜在不同工艺条件下（膜厚、Ａｒ工作气体压强和负偏压）的衍射线线形，发现衍射线的物理展宽（即有效晶粒尺寸的减小）是粒取向度的下降是相应的，晶粒取向度的下降与结构缺陷密度     

3G移动通信中的射频元器件

以高速传输数据并能传送图像为特征的第三代(3G)移动通信系统对通信设备提出了新的要求,同时也将毫无疑问地引发新一代移动终端的革命。WCDMA、CDMA2000和TD-SCDMA作为3G通信标准已获得国际电联(ITU)的认可,它们将兼容第二代移动通信系统并在其基础上投入运营。因此,相应的3G移动通信终端必将要求满足多模式和多频段工作的需要。多模、多频段手机研发取决于先进的元器件,而前端射频元器件一直是研发的“瓶颈”所在。本文简要分析和概括3G移动通信中相关射频元器件的现状和研发进展,同时也报道一些最近的研究成果。3G移动通信系统…     

Co-Cr合金膜的X射线线形分析

利用近似函数法对Co－Cr合金薄膜的衍射线线形进行分析，并提出用“三线法”确定衍射线的函数类型及其积分宽度，由此可计算薄膜的晶粒尺寸和微观应变。理论计算和实验表明，“三线法”结合近似函数法在线形分析方面是简便、可靠的。通过分析Co－Cr膜在不同工艺条件下（膜厚、Ar工作气体压强和负偏压）的衍射线线形，发现衍射线的物理展宽（即有效晶粒尺寸的减小）与晶粒取向度的下降是相对应的。晶粒取向度的下降与结构缺陷密度的增大有关。负偏压溅射时由于Ar原子残留在膜内引起晶格膨胀，从而使微观应变有较大增加。