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构成真空排气系统的部件主要是真空系、真空阀门、冷阱、真空计等。现暂且不谈它们的基本技术,而仅就排气系统的使用做一些说明。 真空泵的种类和日常管理 表1是现在广泛使用的真空泵的种类及其工作原理。表中记载了常用压强范围、日常在运转初期和运转中应该注意的地方、以及处于停止状态时所应有的压强状况。 真空排气系统和使用上需注意的地方 表2是具有代表性的真空装置和使用压强范围以及最近配用的真空排气系统。 即使是同样名称的装置,如果所使用的压强范围不同,那么其排气系统的组成也将发生变化,但是在此只表示出比较大型装置的排… 相似文献
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