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本文叙述了多晶硅薄膜的制备以及作为集成电路中的负载电阻的基本原理。重点阐述在高频、低功耗、高速双极模拟超大规模集成电路制造过程中多晶硅电阻工艺技术的两究、开发与应用,并列出了经优化的工艺条件及相关的试验数据。 相似文献
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本文对格尔木炼油厂80万吨/年加氢裂化装置重柴油泵P204A/B自冲洗系统循环水汽化的原因进行了深入分析,并提出了相应、可行的整改方案,在彻底解决问题的同时确保装置平稳运行,效果显著. 相似文献
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本文对格尔木炼油厂80万吨/年加氢裂化装置重柴油泵P204A/B自冲洗系统循环水汽化的原因进行了深入分析,并提出了相应、可行的整改方案,在彻底解决问题的同时确保装置平稳运行,效果显著。 相似文献
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利用工业氧化铝与煤系轻烧高岭土或高纯石英砂为原料合成高纯莫来石,研究了添加剂(分别为滑石、ZnO和锆英砂)、合成温度、工艺过程对莫来石相含量及体积密度的影响。采用XRD定量分析的K值法计算出莫来石相的含量。结果表明:用工业氧化铝与煤系高纯高岭土合成出的莫来石相含量高于用石英砂与工业氧化铝合成的试样,在其中加入1%ZnO和1%锆英砂作添加剂的试样(其w(Al2O3)=68%),在氧化气氛下采用1380℃3h和1580℃3h二次保温煅烧工艺,合成的莫来石相含量达到97%,体积密度达到2.89g·cm-3。 相似文献
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求文在消化、吸收入NSA工艺的基础上,根据现有设备重.点研究CD8690CP、CD8759CP等R极模拟VLSI制造过程中多晶硅发射极晶体管界面氧化层的生长条件,借以提高VLSI性能和成品率。 相似文献
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