工艺条件对冲液电铸微结构粗糙度及形貌的影响

采用冲液电铸工艺制备金属微结构,研究了阴极电流密度和冲液速率对微结构粗糙度及形貌的影响。结果表明:粗糙度随阴极电流密度的增加(0.5～1.3A/dm2)而增大,但随冲液速率的提高(0.2～1.3m/s)而减小;阴极电流密度和冲液速率均对微结构的形貌有明显影响,当阴极电流密度为0.5A/dm2且冲液速率为1.3m/s时,微结构的形貌质量最优。     

超声波对电化学沉积技术影响的研究进展

从电极过程液相传质特性、电沉积行为特性和电沉积工艺特性3方面综述了超声波对电沉积过程的影响:在一定条件下,超声波能加速扩散传质过程,减薄扩散层,提高阴极极限电流密度和电沉积速度,改善沉积层的表面形貌和综合性能,并且改变微观织构及粒子与合金的含量。当前,开展的超声电化学沉积研究主要集中于宏观沉积层和低深宽比微米级尺度结构层面,今后高深宽比微米级特征尺度结构及纳米尺度结构的实现乃至优质制造或将成为新的研究热点。     

超声波测距系统在教学用机器人避障中的设计

介绍了用于教学用机器人避障功能的超声波测距系统的构成及原理,该系统在教学用机器人避障功能的应用中,测距的范围为0.2～5.0m,精度为±4cm.     

工艺条件对冲液电沉积微结构粗糙度及形貌的影响

采用冲液电沉积工艺制备金属微结构,研究了阴极电流密度和冲液速度对微结构粗糙度及形貌的影响。粗糙度测试表明:随阴极电流密度的增加(0.5～1.3A/dm2)呈增大趋势,但随冲液速度的提高(0.2～1.3m/s)呈减小趋势。形貌观察发现:阴极电流密度和冲液速度均对表面形貌有明显影响,当阴极电流密度为0.5A/dm2且冲液速度为1.3m/s时,制备的微结构形貌质量最优。     

面向微机电系统的微细电铸制造技术

鉴于微机电系统(MEMS)承载的特殊功能,其制造技术成为当前研究的热点。微细电铸以其固有的诸多技术优势,成为制造复杂结构MEMS零部件的主流技术。概述了超声微细电铸技术、超临界微细电铸技术、屏蔽模板随动式微细电铸技术、辅助交变低气压-温度梯度微细电铸技术和高压微细电铸技术五项面向微机电系统的新型微细电铸制造工艺及其研究进展,并指出了今后的研究重点。