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上海第三代同步辐射光源(SSRF)的动态真空要求为1.3×10^-7Pa,要获得这样的超高真空环境,真空系统配置了多台钛升华泵(TSP)和非蒸散型吸气剂(NEG)组件,针对这两种设备的工作参数,研制了一种带有计算机通信接口的复合电源,并在LabVIEW环境下开发了一套相应的控制软件,实现了对TSP和NEG的本地和远程控制。经过测试,该控制器和控制软件均已达到了设计指标,可以正式投入到上海光源项目上使用。 相似文献
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