稳定分子流温度非平衡态的“等效温度”

提出了用“子群”概念处理稳定分子流温度非平衡态问题的想法。在球形容器,各向同性气源的情况下说明了运用这一概念的方法。在这种情况下,“次束”分子密度是均匀的,但却具有非麦克斯韦的速度分布,它可用一等效温度的麦氏分布近似,等效温度是气体分子适应系数,粘着几率等参数的函数。     

圆筒结构分子流稳定非平衡态碰壁率

本文推导了表达分子流稳定非平衡态碰壁率的积分方程。并对典型的圆柱型容器(长L,直径D,一端有粘着几率β的等效抽气面)编制了用计算机迭代求解该积分方程的程序。用10~K内存量的袖珍计算机以1%精度计算了某些L/D,β参数下,“均匀出气”和“底面出气”时碰壁率的分布。计算结果表明了各种参数下的状态和平衡态的偏离程度以及采用“收口抽气”可使这种偏离大大减少。计算还表明存在一个和L/D、β和源发射情况几乎无关的“准理想规管位置”,它对实际应用是有意义的。运用该方法还计算了分子通过内壁吸附分子的收口和敞口圆形管道时的“通过”“返回”和“吸收”几率。结果和蒙特卡洛法得到的很好一致。     

溅射离子泵阴极的分析研究

对一在10~(-5)Pa 真空下连续抽空气15000h 以上的溅射离子泵 Ti 阴极,测量了表面几何“起伏”,分析了剖面金相照片,并用 X 光衍射、XPS、AES 进进了分析研究。结已表明,表层 Ti 原子几乎全部与 N 结合生成 TiN;整块材料内有部份 Ti 的氢化物生成,并且阴极表面约6%的区域提供了约80%的溅射量。     

稳定分子流密度非平衡态的速度分布和碰壁率关系

在分子流状态,空间分子特性决定于表面发射分子的角分布和速率分布。作者发现速率分布可用“立方定律”描述。从表面分子发射规律出发导出了稳定分子流密度非平衡态空间分子速度分布函数。它和麦克斯韦分布不同,是各向异性的。但在立方定律成立时速率却服从麦氏分布。这种状态下碰壁率和分子密度关系是(ε/4)(n(?)),通常可用ε和1的差别表征偏离平衡态的程度。     

可凝性气体对低温光学元件表面污染的测试设备

详细介绍了某些可凝性气体对低温光学元件表面污染测试设备的基本原理、基本结构１９９４年１月６日收到，第一作者的邮政编码２０００８３及使用方法，对其主要性能进行了实验测定，并给出了系统误差分析。该设备结构简单、功能齐全、性能可靠、使用方便、测试波段从近红外直至远红外，精度优于３％，与国外同类仪器相当。可用于各类可凝性气冷凝霜层的测试研究，为进一步发展空间技术提供了有效的研究设备。     

束流效应对圆管分子流导几率的影响

用解积分方程方法计算了等直径圆管串联时束流效应对分子流导几率的影响。在两管串联情况下,若进行束流效应修正后再用奥脱莱(Oatley)公式,结果误差可减小到<1%。文中推得更精确的考虑束流效应的串联公式。应用此公式,误差进一步减小到<0.15%。     

溅射离子泵的一种新阴极材料——Ti_(15)Mo合金

在同一泵体、同一测试条件下,对以Ti_(15)Mo合金、纯钛或47121合金作阴极的相同结构抽气单元,进行了抽气性能的对比测试。其结果是Ti_(15)Mo合金阴极对氢气抽速比纯钛提高60％以上,对空气抽速提高约15％,对氦气抽速达到抽空气的22％。并对Ti_(15)Mo泵芯在1.2×10~(-5)托氢压强下进行455小时抽氢试验,而抽速几乎没有衰减。对试验后的纯钛和Ti_(15)Mo阴极进行了金相、x光和氢浓度分析:Ti_(15)Mo阴极放电区表面并不生成TiH_2而是氢向体内扩散。我们的试验研究表明,Ti_(15)Mo合金是一种优良的溅射离子泵阴极材料,并设计制造了2TLH-150抽氢溅射离子泵。     

提高溅射离子泵抽速的研究

按抽气过程推出了溅射离子泵的抽速公式。实验研究了阳极结构、阴极材料对提高抽速的作用。通过离子泵抽氩清洗后抽速提高现象的分析研究.证实了阴极材料表层成分对离子泵抽速有几倍的影响;钛阴极的泵在抽氮气达到稳定值后,阴极表层即盖满 TiN,而泵的正常抽速是离子溅射 TiN 生成的钛原子在阳极表面抽气提供的。研究表明,理想的离子泵阴极材料不仅应当溅射率高,溅射膜有高的吸气性能,而且应对入射的被抽气体原子有足够高的扩散能力。