多层等离子体蚀刻技术的研究

干法刻蚀现已成为微小高深宽比结构加工与微细图形制作的重要手段.提出了一种新的干法刻蚀技术一多层等离子体蚀刻,充分利用腔体的空间布局,布置多层电极,并采用分层送气装置输送放电气体,实现多层同时进行刻蚀,可成倍提高产能.采用该技术刻蚀光阻为例,从空间与时间两个角度分析了工艺参数对刻蚀速率与均匀性的影响规律与作用机理.实验结果表明,极板间距为50/55/60mm(由下向上),工作压力为40Pa,R[O2:Ar]为1/2,RF功率为600W时,整炉次刻蚀速率均值为14.395nm/min,均匀性为9.8％,此时工艺最为合理.     

新疆南疆地区外墙涂料的适用性和耐久性研究

新疆南疆地区具有高盐碱、高温差、干燥少雨、紫外线辐射强等鲜明的气候地理特征,对建筑物外墙涂料的适用性、耐久性带来了考验.以实际工程为例,研究了适合于南疆地区应用的外墙涂层系统与施工技术,经一年来季节轮换的考验,外墙饰面外观效果优良,杜绝了褪色、泛碱、粉化、起皮和剥落等质量问题.