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掺硼金属膜热敏电阻器的制备工艺及温度响应 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍了一种帽状结构的掺硼金刚石膜敏电阻器及其制备工艺。使用PCVD方法在Si4N4或Si基片上淀积掺硼金刚石膜膜,然后在金刚石膜上淀积Ti/Au薄膜形成欧姆接触电极。结果获得了具有良好温度响应和欧姆接触的金刚石膜热敏电阻器。 相似文献
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MPCVD合成P型金刚石薄膜的电导——温度机理 总被引:1,自引:0,他引:1
研究了温度对P型金 石薄膜电导性能的影响,采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)的方法在Si3N4基片上制作了掺硼金刚石薄膜,测量了不同掺硼浓度的电导温度特性关系,提出了一种简化的能带模型,解释了电导机理,基于能带模型计算出的电导--温度关系结果与试验结果相符合。 相似文献
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介绍了汽车电子产品的主要种类,并从汽车工作环境的特殊要求角度阐明了厚膜混合集成电路在汽车电子产品中应用的前景。 相似文献
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用微波等离子体CVD方法制作了掺硼金刚石薄膜热敏电阻器。该器件的结构由Si3N4基底和2μm厚的掺硼金刚石薄膜组成,并采用了经退火处理的钛/金双金属层制作欧姆接触,结果在室温到600℃范围内获得了欧姆接触,温度响应以及电阻温度系数优良的热敏电阻器。 相似文献
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