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1
1.
掺硼四面体非晶碳膜的微观结构及光谱表征
张化宇
檀满林
韩杰才
朱嘉琦
贾泽纯
《无机材料学报》
2008,23(1):180-184
分别采用过滤阴极真空电弧技术制备了不同含硼量四面体非晶碳(ta-C:B)膜, 并用X射线光电子能谱(XPS)、Raman光谱对薄膜的微观结构和化学键态进行了研究. XPS分析表明薄膜中B主要以石墨结构形式存在, 随着B含量的增加, sp
3
杂化碳的含量逐渐减小, Ta-C:B膜的Raman谱线在含硼量较高时, 其D峰和G峰向低频区偏移, 且G峰的半峰宽变窄, 表明B的引入促进了sp
2
杂化碳的团簇化, 减小了原子价键之间的变形, 从而降低了薄膜的内应力.
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