关于滑阀机械真空泵振动问题的初步考虑

滑阀泵是粗抽获得的关键设备,用途十分广泛。但该泵种的振动和噪声相当严重,造成环境污染。当前,机械产品的技术改造和更新换代,对滑阀泵来说,主要是减少振动和噪声,当然,节约能源也是很重要的。本文就减少滑阀泵振动试作如下初步探讨。 滑阀泵的振动主要是由所排气体的反作用力和转子的惯性力引起的一前者主要发生在高压强区,随着系统真空度的提高,进入泵腔的气体在逐渐地减少。接近极限真空时,它的作用是可以忽略的。但是。滑阀泵运动构件(滑阀)引起的惯性力,包括偏心转子和滑阀环不平衡质量的回转离心惯性力以及滑阀杆的惯性力却始终存在…     

双直流等离子体化学气相沉积装置与工艺研究

本文介绍了发明专利—双阴极直流辉光放电装置的结构及其性能,由于实现了工作气压 P、工件沉积温度 T、工件负偏压 V 可以分别独立控制,因而能够分别单独调整,所以可以改善膜层的性能。由于工件加热可以采用放电的辅助加热电极两种方式,     

极稀薄气体通过任意长管道的流动(一)

本文是克劳辛博士的一篇重要的论文。发表在1932年德国“物理年鉴”上(Ann.Physik 52(1932)961)。近50年来,这篇论文经常为真空物理工作者引用,但一直没有中文译文。为此,我们将赵乃石同志这篇译文介绢给广大读者。译文系根据1971年第5期的美国“真空科学与技术杂志”的英译文译出的。全文较长,我们分期发表。     

国际标准草案ISO/DIS 3556/1溅射离子泵-性能测量-第一部分

序言 本国际标准的目的,是保证溅射离子泵的性能测量尽可能地在统一的条件下有一个统一 的测量程序。希望它能使得由各制造厂或各实验室指导下的测量,以及在制造厂文件中引用 的性能说明,将会有一个恰当的比较基础,这对用户和制造厂都有好处。 我们非常重视能有一个圆满的国际标准,及时地全盘处理溅射离子泵主要泵种的性能测 量问题,但是,为了在有限范围内,尽快地有一个有效的统一执行文件,所以试发表国际标准的这一部分。 1、适用范围 本部分国际标准仅处理体积流率大于lddms/秒的溅射离子泵。涉及如下项目的测量’ 方法: (a)指定形状和指…     

极稀薄气体通过任意长管道的流动(二)

4.圆柱形短管问题垂直于圆管轴的平面把导管切成一个圆形截面。彼此接近的两个截面在管壁上形成圆环。先作如下假设:(1)ω(?)(ν)dν是按余弦定律从圆环2πrδν发射的分子直接碰于与该环相距为ν的另一圆环2πrdν的几率(从第一个圆环发出的分子与第二个圆环碰撞以前不再和管壁相碰撞)。     

考夫曼离子源物理基础及其应用

本文分两部分，第一部分为重点，从扩散方程出发讨论考夫曼离子源放电室电子在磁场中的扩散运动，从基本物理概念出发定性地讨论电子在磁场中回旋半径与放电电压的关系，以平板电极中带电粒子运动的泊松方程出发推导出引出的离子束流与加速电压二分之三次方关系（齐尔德定律）；从而给出了ＬＳＫ－６００型离子蚀刻机离子源的设计基础。第二部分简单讨论考夫曼离子源在工业中的各种应用，包括溅射、蚀刻、改性和沉积等。     

《金属表面涂层》一书已出版发行

由陈拱诗同志编译的《金属表面涂层》一书已经出版了。它是以美国加利佛尼亚大学朋夏教授主编,马托克斯等10位知名学者撰写的《薄膜和涂层沉积工艺》一书为基础,并以作者多年工作经验和资料文献积累编译而成。 金属表面涂层的研究和应用已有多年历史。近30年来它综合利用了真空     

真空技术的未来

一、前言 在美国真空学会第30届年会召开之际,特别是借“真空科学与历史,”这一会议议题的机会,发表一篇专门讨论“真空技术未来”的文章是适宜的。但是,应当指出,这篇文章不同于通常意义的科学论文,它明确客观地提出有关各种结论的证据。当然,这些结论和证据之间的关系在很大程度上带有主观性,但本文最终目的是预测未来。因此,文章属于短论的一类,而不是真正的科学论文,其中的许多论点来自于本文作者在马德里召开的第9届国际真空会议和第5届团体表面会议发表的“真空获得与测量的极限”。但是,应当指出,本文对未来的展望不包括真空科学,而…     

双直流等离子体化学气相沉积装置与工艺研究

本文叙述了双阴极直流辉光放电装置，较详细的介绍了双阴极装置克服单阴极装置 所存在的不足，并对装置的工艺试验在本文中作了讨论。