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文中提供了带倾斜角振动171极的等离子体反应室及他用于刻蚀硅粉的实验结果。振动171极上硅粉的运动分析表明其在反应区滞留的时间可达数分钟之久,这就使低纯硅粉的纯化处理可一次完成。刻蚀速率模型几个关键公式的计算结果表明中性高能粒子的刻蚀效果不可忽视。理论分析与实验数据大致吻合,这证明新的反应室用于粉粒表面刻蚀和纯化都大大优于立式反应室。 相似文献
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介绍了在冷等离子体中粉体研究的几个重要成果,分析了粉体在两种反应室结构中的运动、沉降时间及刻蚀状况。理论分析和实验结果表明带振动阴极的反应室在粉体表面刻蚀方面比传统阴极结构的反应室要优越得多。研究表明冷等离子体对硅粉纯化具有应用前景。 相似文献
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1987年11月份,英国爱德司丹顾问业务有限公司,石油及化学工业顾问工程师、董事总经理阿雷格先生来华座谈柠檬酸生产技术。现将所介绍的西欧柠檬酸生产技术概况综述如下: 相似文献
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通过对振动阴极反应室的研究,针对粉粒与金属阴极接触的问题,提出新的改进设计。采用射频电源感应线圈,振动石英管内部放电的方式进行刻蚀。既有振动阴极反应室的效果,又避免掺入杂质,是一种可行的新反应室设计。 相似文献
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介绍了一种用直流氩等离子体对硅粉刻蚀提纯的方法.实验结果表明硅粉纯度可由99.6%提高到99.95%.处理后的硅粉还可进行熔化-固化-粉碎再处理,因此这是一种技术上可行的太阳级硅制备新方法.文中还应用反应室鞘层厚度、硅粉沉降平均速度、考虑高能中性粒子刻蚀作用的刻蚀速率方程等进行理论分析,结果显示,在一定的工艺参数下,刻蚀提纯是有效的,并与实验结果相近.这也为粉体表面刻蚀研究提供了一种新的手段. 相似文献
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