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1.
感压膜片预张力对电容薄膜真空规输出特性的影响
贾春旺
陈叔平
成永军
孙雯君
裴晓强
孟岳
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《真空与低温》
2021,(1):52-56
电容薄膜真空规中感压膜片在安装时通常须先施加预张力,再固定.为研究感压膜片预张力对电容薄膜真空规输出特性的影响,以现有电容薄膜真空规为对象,基于COMSOL Multiphysics软件,建立有限元模型,得到了不同预张力下输出电容的仿真解,并与理论计算结果进行了比较,分析了预张力对输出电容的影响.同时分析了真空规线性度...
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2020,57(6):1-6
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