单重态氧发生器轻型真空储罐的研究及优化设计

单重态氧发生器是化学氧碘激光器真空条件下使用的核心部件，为减轻自重，采用碳纤维复合材料取代不锈钢制作单重态氧发生器。本文采用有限元分析方法，探索采用树脂复合材料制作真空罐体和封头的设计方法和优化方案。研究表明，其强度和真空性能均达到设计要求，为采用现代方法设计真空设备开辟新路。     

多弧离子镀沉积过程中等离子体参数对薄膜沉积的影响

采用平面探针测试了衬底附近的电流密度，弧电流和衬底偏压的增加均有助于增加到达衬底附近的离子的数量。弧电流增加引起村底的温升，衬底偏压对衬底温度影响较小。采用多弧离子镀技术沉积Cr-N薄膜，衬底偏压对薄膜的硬度影响较小；弧电流增大，薄膜的硬度随之降低。XRD分析表明，弧电流较高时，不利于Cr—N相的形成，薄膜中以Cr的宏观液滴为主，薄膜硬度较低。