光刻机小型复合节流静压气浮导轨微结构参数设计

在光刻机可变狭缝系统(VS)中,紧凑型复合节流静压气浮导轨是实现高精度、高加速度运动的首选结构.研究表明,导轨气浮工作面上加工浅腔、凹槽等微结构可以改善负载性能.然而,微结构微米级变化对导轨性能的影响尚不清晰.文中采用作者提出的网格自适应法,定量研究了微结构四个参数的影响,揭示了微结构变化对导轨负载性能的影响规律,并利...     

中小型水库管理探讨

水库是我国水利工程体系的重要组成部分,本文针对目前中小型水库管理水平参差不齐、管理方式粗放等运行管理中存在的问题,在总结以往经验的基础上,结合新形势、新任务、新要求,提出运行管理新方法。     

建筑工程项目人才管理探讨

随着建筑业的发展壮大,工程项目也越来越多,而要使工程项目保质保量地完成,人才起着重要的作用。本文围绕建筑工程项目人才的现状、存在的问题以及未来如何更好地管理人才进行了探讨。