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采用磁过滤直流电弧离子镀法在不同的CH4分压下制备了一系列的TiC薄膜,利用XRD和EDX表征了薄膜的相组成和微结构,用MCMS-1摩擦磨损测试仪,研究了不同CH4分压对薄膜摩擦性能的影响,采用DURAMIN-10型丹麦全自动显微硬度仪,研究不同CH4分压对薄膜硬度的影响.结果表明,不同CH4分压对薄膜的相组成、微结构和力学性能均有明显的影响,高的CH4分压下,薄膜的摩擦系数较低,CH4分压提高到0.15 Pa左右,薄膜内形成晶粒细小的单相TiC,进一步提高CH4分压,薄膜呈现非晶态. 相似文献
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降低DLC薄膜应力的方法研究 总被引:1,自引:0,他引:1
为了沉积出高硬度、低应力、高膜-基结合强度的类金刚石硬质薄膜,利用脉冲电弧离子镀技术在高速钢基底上制备类金刚石薄膜,采用退火、增加Ti过渡层、Ti离子轰击等方法减小DLC薄膜应力.结果表明:单层DLC薄膜的应力可达7.742 GPa;以Ti为过渡层的DLC薄膜的应力减小为2.027 GPa;对Ti/DLC薄膜进行退火热处理,薄膜应力减小到0.359GPa.利用Ti作过渡层,并且对薄膜进行退火处理,可以使DLC薄膜产生的高应力在Ti层中得到明显减小,提高膜-基结合力,增加硬度. 相似文献
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简单介绍地下流体监测技术用于前期地震预报的理论依据及可行性,阐述地下流体中溶解的气体及化学组分变化对于地震前期监测的重要意义,进而介绍了有关单位联合开发的新一代地下流体地震综合信息监测仪器的工作原理、系统构成和以全自动方式实现的地下流体监测流程。 相似文献
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