聚酰亚胺悬臂MOEMS电磁光开关的优化设计

利用聚酰亚胺(PI)优良的机械、绝缘、耐热等性能,设计出基于PI膜的磁控光开关.给出合理的线圈宽度与间隙宽度,提出了八边形的线圈绕组结构,计算得出PI膜悬臂梁光开关驱动电压与工作距离的关系,并对悬臂梁长度、宽度、厚度进行优化.在驱动电压为2V时,自由端位移达到2mm.     

光通信中的新型光无源器件

基于全光网络的迅猛发展,本文简单介绍了波分复用器、光开关、光插／分复用器件方面的新型光无源器件,对器件原理、功能进行了阐述。文章对这些实现技术的特点进行了详细的分析和比较,最后给出了结论和展望。     

聚酰亚胺微悬臂梁理论及实验

设计制作了一种电磁驱动式悬臂梁．为降低驱动电流,选择柔韧性较好的聚酰亚胺（PI）作为梁结构材料,其优良的绝缘性和耐热性保证了驱动线圈的功能实现．通过理论计算及有限元模拟仿真对悬臂梁动力响应及结构模态做了系统分析;根据分析结果,优化得到悬臂梁的结构参数．介绍了悬臂梁的制作工艺及流程,通过PI刻蚀、A7A903光刻胶光刻、电铸等工艺过程,制作出PI悬臂梁及其末端驱动线圈．