质谱分析技术在继电器研究中的应用

本文主要论述了四极质谱计的原理与特性。在继电器生产研究中,质谱分析技术应用于:各类密封空间的气氛分析;各种气体对触点电弧烧蚀的影响,所用材料的释放气体特性;充入密封继电器内气体的组分和纯度;监测引线及密封罩壳的气密性等,并列举了质谱分析技术在继电器生产中应用的实例,预测了其发展前景。     

四极质谱计与电离真空计组合的分压强测定法

1.前言 由于真空材料和真空技术的进步,已经能够比较容易地实现高真空和超高真空,但是伴随着高真空和超高真空的发展,以电离真空计为代表的所谓全压强计的指示值,因残余气体成分不同而进行变化,因此难以掌握正确的压强值。 另一方面,虽然以滤质器为代表的四极质谱计进行残余气体成分分析的方法是最简单的,可是由于四极质谱计离子检测灵敏度经常在变动,故不能充分地稳定进行残余气体成分的定量分析,即分压强定量分析不稳定。 然而,掌握真空容器中残余气体的成分在半导体生产工艺中是个非常重要的因素,因此,为了稳定而高灵敏度地定量分析残余…     

密封继电器气氛分析系统的设计

本文主要阐述了密封继电器气氛分析系统的具体设计方法。根据密封继电器罩内气氛的特点。提出了分析系统应具有的功能。该系统由特殊结构的气体取样器、不影响气氛组成的气体减压装置和选用具有高灵敏和响应速度快的四极质谱计等组成,在继电器罩内气氛分析中发挥了很好的作用。文章还列举了已经实际投入运行一年多的分析系统结构和性能,最后指出,若对该系统四极质谱计部分增加低压下气体取样装置,则可适用于各种电子器件内部气氛分析和真空放气性能的研究。