静电微反射镜的发展与应用

本文从静电微反射镜结构、驱动方式、加工工艺等方面对目前静电微反射镜的原理和实现方法进行总结。分别讨论了它们的功能特点和应用方向。分析了不同应用领域的静电微反射镜的性能要求和结构方式,重点介绍了静电微反射镜在投影显示器和空间光通信等领域的应用。最后讨论了静电微反射镜在光学特性分析、驱动方式、工艺设计、动态特性和控制方法等方面的关键问题及发展方向。     

水平式隧穿磁强计的反馈控制系统设计

分析了水平式隧穿磁强计控制系统的原理和特点;给出了反馈控制系统传递函数方框图;求出了水平式隧穿磁强计的表头、隧道效应及梳齿静电驱动等框图的传递函数.采用二阶有源带通滤波的方式来减弱外界的噪声影响,经实验验证,降低了隧道间隙的变动量,使得隧道间隙从0.4～1.6nm减少到0.9～1.1nm,满足设计要求.     

谐振式MEMS磁强计原理与研究进展

介绍了谐振式MEMS磁强计的基本原理、特点和应用领域,总结了目前谐振式磁强计方面的研究成果,给出了其技术指标和参数,分析、比较了垂直式和水平式两类谐振式MEMS磁强计的特点和优势。阐述了谐振式磁强计的驱动、信号检测及控制方式,分析了谐振式磁强计的发展趋势,指出通过合理的结构、工艺设计及提高检测精度来进一步提高器件的分辨力将是谐振式磁强计发展的主要方向。     

扭摆型隧穿磁强计的设计方法研究

本文提出了一种扭摆、谐振型隧穿式磁强计及其设计方法，它采用扭摆型线圈敏感被测磁场，结构易于加工且能够有效降低1／f噪声的影响。通过理论推导建立了扭摆和扭梁的力学模型，得出了磁强计灵敏度与扭梁刚度的关系，通过仿真说明了系统中各结构参数之间的关系，得到了隧穿式磁强计的设计原则，运用提出的设计流程和原则，进行了磁强计实例设计，在ANSYS下对此模型进行了固有频率和静态变形仿真，仿真结果与通过设计方法得出的值吻合较好，从而验证了模型的可靠性和方法的合理性。     

扭摆型谐振式磁强计及其激振与测控系统设计

研究了基于扭摆式结构的谐振式磁强计及其激振与测控系统,设计了扭摆式谐振磁强计的基本结构,其对称式结构能够抑制加速度对磁场检测的干扰．设计了L形梁来释放加工过程中的应力,推导了开环系统和闭环系统的传递函数,通过初步参数设计,对扭矩随线圈匝数的变化进行了仿真,并介绍了基于对被测信号进行调制和同步解调的电容检测原理．结果表明,该谐振式MEMS磁强计灵敏度和分辨率高,多匝线圈方案使器件灵敏度大幅度提高,10匝线圈时的扭矩是单匝线圈的8倍,磁强计分辨率优于30nT．     

小卫星地面供电电缆温度监测系统设计

随着小卫星研制数量的增多,地面电缆的敷设数量越来越多,一旦绝缘老化而发生热击穿将造成很大的损失;卫星地面供电电缆的运行温度是一个重要参数,必须对其进行监视;为此,研制了小卫星地面供电电缆温度监测系统,该系统采用T型热电偶对电缆重点监测部位进行测温,并将测温数据通过温度数采盒转换为RS-485信号进行远程传输,利用工业串口服务器和以太网交换机接入测试网络,实现测温数据的便捷访问,通过基于LabVIEW开发的温度监视软件实现温度数据实时监视以及其他综合应用;最后,为了获取小卫星地面供电用电缆载流数据,进行了该类型电缆载流试验,试验数据表明了电缆温度的重要性。