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表面扩散渗铝形成的β-NiAl涂层表面注入Mg+1×1017/cm2后,在1000℃空气中恒温氧化25h,涂层的氧化增重速率有所增加,这是由于注Mg的β—NiAl涂层表面形成了Al2O3氧化物“瘤”,长时间氧化后氧化物“瘤”周围及“瘤”本身发生开裂,引起涂层内氧化。 相似文献
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电容式微机械超声传感器(CMUT)自出现以来,因其频谱宽、分辨率高、声阻抗匹配好等优势,在超声成像领域大有取代传统压电式传感器的趋势。围绕CMUT最主要的两种制造工艺方法,重点简述了表面微加工技术和晶圆键合技术的基本方法、工艺材料、薄膜形成等相关概念,并介绍了基于这两种方法加工制造CMUT的基本流程。从表面微加工方法中薄膜的沉积材料和结构以及晶圆键合方法中键合方式和键合温度等方面进行论述,总结介绍了CMUT加工工艺的研究现状。在此基础上对CMUT加工工艺的未来进行展望,提出应从工艺温度、薄膜材料、晶圆粗糙度和粘滞现象等4个主要方面进行重点研究,从而使CMUT早日实现推广应用。 相似文献
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本文通过在计算机中建立航空发动机叶片的工作环境,进而模拟在飞行状态下叶片表面涂敷的陶瓷热障涂层的受力行为,获得了陶瓷涂层在热气动载荷作用下应力场分布,并得出应力场分布与涂层结构和叶片几何形状及与承受的载荷之间的关系,提出了进一步提高陶瓷热障涂层的使用寿命的途径。 相似文献
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在1100℃恒温氧化条件下,研究了稀土氧化物CeO2,Gd2O3对NiAl基上形成的α-Al2O3膜的生长速率及其粘附性等氧化动力学参数的影响,并在此基础上采用SIMS测量二次离子流强度与阻止电压曲线方法,研究了Al2O3膜内及Al2O3/NiAl基界面处Al、Ni原子间结合能的变化规律。实验结果表明,稀土氧化物存在于氧化膜的晶界等处,具有促进氧化膜的晶粒间“微烧结”作用而提高了原子间的结合能。同时,还从稀土氧化物的化学性质出发,研究了稀土氧化物种类对氧化动力学产生不同影响的作用机制。 相似文献