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1.
厚胶光刻蚀刻中的图形展宽分析与改善研究
冀翔
杨国光
侯西云
刘晓旻
陈滟
田丰
《光学仪器》
2007,29(6):74-80
为了刻蚀出低损耗波导沟道,对光刻和反应离子束蚀刻(RIE)中影响展宽的工艺条件进行理论分析和实验实践,提出采用多次旋涂、消除芽孢、低温后烘和刻蚀、光学稳定等措施减小展宽,并对不能完全消除的展宽分析给出原因。实验结果表明展宽得到有效的改善。
相似文献
2.
儿童安全座椅没“3C”不能卖
欧志葵
陈滟
《质量探索》
2014,(9):12-12
日前,国家质检总局与国家认监委联合发布关于机动车儿童乘员用约束系统(俗称"儿童汽车安全座椅")实施强制性产品认证的公告,我国从2014年9月1日起实施强制性认证,委托人可以向指定认证机构提出认证产品的认证委托。明年9月1日起,未获得强制性产品认证的儿童安全座椅不得出厂、销售、进口或在其他经营活动中使用。业内人士表示,
相似文献
3.
定位技术在网络安全领域中的应用
陈滟
《电信网技术》
2010,(6):15-18
介绍了当前定位技术的发展现状,之后阐述了定位技术在无线局域网网络安全方面的应用,并以无线传感器网络定位技术为例介绍了室内定位技术的原理。
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