新Moser—Poltz压缩计中的激光干涉测量技术

本文介绍了在新结构的 Moser—Poltz 压缩真空计中,采用了激光干涉测量技术,使小室下缘汞平面的平面度可控制在1.6×10~(-4)mm 以内,测量粗管内汞柱高度变化的不确定度小于1.7×10~(-2)mm(以3δ计算)。从而有效地提高了该计的压力测量精度,成为10~(-6)～10~(-2)Pa 压力测量范围内的一项实用真空标准。