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一、前言 随着现代工业和科学技术的迅速发展,空间技术、高能物理、表面物理、电子工业、受控热核反应等许多尖端科学技术,对真空系统结构材料的预处理,提出了越来越高的要求。结构材料在超高真空炉中高温除气,被认为是目前世界上最有效的材料预处理方法[1]。迄今为止,不锈钢中最低的材料放气率,不是用其它处理方法取得的,而是通过超高真空炉高温除气获得的[2]。 为了满足超高真空结构材料的越来越高的处理工艺要求,有效地解决我厂超高真空产品的质量问题,我厂近年来研制成功了RC型快速冷却超高真空炉。见图1。这台大型设备从开始设计到研… 相似文献
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