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中频反应溅射SiO2膜与直流溅射ITO膜的在线联镀 总被引：2，自引：2，他引：0
多数ITO透明导电玻璃生产线在实现SiO2膜与ITO膜在线联镀时，应用SiO2靶射频溅射沉积SiO2膜工艺和ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺，如果SiO2膜应用硅靶反应磁控溅射工艺，存在这种工艺是否可以与ITO靶直流溅射沉积ITO膜工艺在线联用以及如何实现联用的问题。作者对现有的生产线进行了改造设计、加工，做了大量实验、质谱分析和多项测试研究，成功地实现反应溅射SiO2膜与ITO膜在线联镀，做到SiO2镀膜室的工作状态的变化基本上不影响ITO镀膜室的工艺条件。 相似文献
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Excel在大学物理实验中的应用 总被引：1，自引：0，他引：1
利用Excel的强大功能，对实验数据进行处理、分析，对实验过程及实验结果的监控。 相似文献
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<正> 1991年,是山东潍坊纯碱厂生产形势进一步好转,纯碱质量全面提高,节能降耗工作取得显著成绩的一年:全年纯碱优级品率保持100%,纯碱生产成本由年初的790元/吨下降到年底的620元/吨(不含折旧、大修费),并在10月份获得了山东省优质产品的同时,又顺利的通过了国家生产考核。1991年,山东潍坊纯碱厂重视技术进步 相似文献
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