图象识别自动对准

<正> 概 述 在大规模集成电路生产中,自动对准技术是极其关键的一项技术,它主要解决IC生产中的图形刻套问题,以提高产品成品率及生产效率。该技术是西方发达国家对我国微电子工业发展实行技术封锁与控制的重点,也是自七十年代初至今这二十余年来严重困扰和阻碍我国集成电路制造与发展的一项久攻未破的老大难问题。我所作为我国专门从     

DDoS的协方差检测模型

分析讨论多变量相关分析方法在入侵检测中的效应,并提出一个协方差分析的模型,用来检测DDoS攻击.结果显示,与其他同类方法相比,该模型在检测不同强度的DDoS攻击上有更高的精确度.     

一具低温运用的石英晶体微量天平

制作了一具传导控温的石英晶体微量天平,改进了晶体支架结构,保证了稳定控温及在低温下运用。     

融合网络下的手机电视业务

1 背景 国务院总理温家宝2010年1月13日主持召开国务院常务会议,决定加快推进电信网、广播电视网和互联网三网融合."三网融合"的定位,就是指电信网、广播电视网和计算机通信网的相互渗透、互相兼容、并逐步整合成为全世界统一的信息通信网络. "三网融合"将要实现网络资源的共享,避免低水平的重复建设,要求建设适应性广、维护容易、费用低的高速带宽的多媒体基础平台.     

蒸发镀膜的精细监测

1.概述为满足膜厚测定高稳定度的要求,我们研制成功SF—3型监测器。由于采取10兆赫特定切角、成对晶体组装、改进装架结构和工艺、取消不稳定的LC振荡器调零、/v转换、改用大讯号混频、数字频率计直接读数等措施,本监测器在恒温31.7±0.2℃下72小时频漂标差4赫,40～-80℃双向温漂250赫,通频带15赫～200千赫。将该监测器安装在DM-450镀膜机中,实现了蒸发镀膜的精细监测。     

数字图象法自动对准

一、概述众所周知,计算机数字图象处理是一门新兴的学科,而集成电路的发展又迫切需要高精度、高可靠性的自动对准系统。为此我们把二者结合起来研制了数字图象自动对准系统。下面简要地从理论上及实验上对本系统作一介绍。二、本系统特点本系统中硅片对准标记即使在低反差、标记工艺变形、残缺以及光学系统造成畸变误差的情况下,也可以通过图象复原、增强、平锐化的手段予以正确对准。这样就在多道光刻过