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介绍用磁控溅射制作的从大气往真空约覆盖5个量程的“绝对型”电容薄膜真空规,以及与该真空规配套的真空计的电路。该真空计测量范围为1.3~105Pd,真空规与电容信号检测电路置于同一金属壳内,以避免外界干扰。规的恒温胜温度波动小于±0.1℃,有效地降低了温度的影响。电路的非线性小于0.4%,高真空下北输出漂移小于0.1%,在13~105Pa各量程内,最大校准误差小于读数的4%。 相似文献
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太阳光谱选择性吸收表面光学性能计算 总被引:1,自引:1,他引:1
发展了多层结构吸收表面的反射率优化设计计算方法,SiO2/Mo-N-O/Mo选择性吸收表面的计算结果与实测结果基本一致,其太阳吸收率和发射率分别为0.94、0.19和0.92、0.21(600℃,真空中90min退火)。 相似文献
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