激光定位工件台位置测量及电气控制系统

作为电子束曝光机的激光定位精密工件台的位置测量和控制电路。本电路将电子束曝光机的大脑——电子计算机与工件台连接起来。而且由于计算机容量有限,对工件台的控制工作很多都要由本电路完成。总的来说,它可完成四种功能:1、平面座标系上的位置测量,为计算机随时提供工件台的准确位置代码;2、根据拼接图形的要求。将工件台平稳地停在预定座标位置上;3、在工     

高性能的数字采集和处理(系统)

本文叙述的是一种用于高速、实时相关处理的高性能的信号采集和处理系统。在数据流传输和处理的各个环节上尝试了一些新的方法提高数据采集,读写和运算的速度。介绍了系统存贮器的构成和寻址方式,高速流水型运算器阵列的构成等。     

数控系统主控微机的实现

本文系统地介绍了大型火焰切割机数控系统的核心部件——主控计算机的组成、原理和实现。重点在硬件电路系统。文中对主控系统的一些特殊功能做了较详细的讨论。     

声光调制器的特性参数及多色光的合成

声光调制器由声光晶体和换能器组成 ,它们各有其特性参数。多级衍射光所引起的互调光、衍射光的压缩和交叉调制现象直接影响多色光的合成。时序法可实现三原色光的合成。     

大型火焰切割机数控系统的研制

本文介绍了我们研制开发的一种专用于大型火焰切割机的数控系统。文中讨论了整个系统的组成、工作原理和主要特点,列出了主要技术指标。该系统目前已形成批量生产,并正在推广应用。结果表明,该系统的各项性能指标均已达到国外同类产品水平。     

从SEMICON/WEST′91看当今光刻设备的发展(出国参观考察报告)

本文介绍了参加SEMICON/WEST′91展览会所见到的国外光刻设备——新研制的制造亚微米器件(16Mb)用的半导体设备已面市。特别引人注目的是许多公司已推出它们的新型光刻设备——0.5～0.8μm硅片分布重复光刻机,如ASM公司的PAS-5500型,Ultratech公司的Ultrastep-2000型,GCA公司的XLS-7000系列,Canon公司的FPA-2000il型,Nikon公司的NSR2005G8i/i8A型依靠i线光刻的分步重复光刻机及用于生产64Mb及256Mb DRAM的有效使用准分子激光器深紫外光刻机的市场可望连续增长。     

TRS—80微计算机用于激光精密工件台的定位和测试

TRS—80微计算机对激光精密工件台的定位控制和测试,使激光精密工件台成为完整的 X,Y 两座标精密定位系统。TRS—80微型计算机对工件台的定位控制和测试包括:输出 X,Y 两个座标预定位置二进制码数和两个座标位置的改数二进制码数,最大的二进制码数为22位,对工件台外设电路的