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1.
高效大功率LED用蓝宝石图形衬底制备的研究进展
桂全宏
周福强
汪桂根
崔林
黎凌华
严帅
韩杰才
《功能材料》
2012,43(21):2886-2892
近年来,图形化的蓝宝石衬底在改善GaN晶体外延生长质量以及提升LED器件发光提取效率方面作用显著,引起了广泛的研究兴趣。综述了蓝宝石图形衬底的制备方法(干法刻蚀、湿法刻蚀、外延生长法),并较系统地介绍了蓝宝石图形衬底表面周期性图形参数(图形形貌、图案尺寸、图形占位比及其深度)对LED发光薄膜及器件的影响及其机理,最后对蓝宝石图形衬底的发展趋势进行了展望。
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