Roll-to-roll MPECVD中氧气浓度对氧化硅薄膜性能的影响

介绍了用磁增强等离子体化学气相沉积技术在连续(Roll-to-Roll)系统中,于PET薄膜表面沉积纳米SiOx阻隔层薄膜的工艺。研究不同的工艺条件下,薄膜的阻隔性能,硬度及其影响的因素。实验得到,在单体和氧气的混合反应气体,氧气的比例提高,薄膜中杂质成分较少,薄膜趋向于较硬的类石英膜,薄膜的铅笔硬度提高。通过红外光谱仪对薄膜成分进行分析,给出影响薄膜硬度和原因。     

MPECVD中氧化硅阻隔层性能的研究

介绍了用磁增强等离子体化学气相沉积技术在连续(Roll-to-Roll)系统中,在PET薄膜表面沉积纳米SiOx阻隔层薄膜的工艺。研究了不同工艺条件下,薄膜的阻隔性能、颜色变化及其影响因素。实验得到:在单体和氧气的混合反应气体中,提高氧气的比例有利于增加薄膜透明性,并且得到的氧化硅膜由黄褐色趋近于无色透明。通过红外光谱仪对薄膜的成分进行了分析,用分光光度计和紫外可见分光光度计测量了薄膜颜色和透明性变化,分析了其影响产生的机理。     

混凝土压力泌水仪示值误差测量不确定度的评定方法与分析

本文介绍了混凝土压力泌水仪示值误差测量不确定的方法及分析。     

浅析金属洛氏硬度计检定过程中注意事项和故障的分析与排除

本文介绍了检定金属洛氏硬度计过程中的注意事项,并对影响金属洛氏硬度计总试验力和示值的因素做了分析,并提供了解决问题的方法。     

高强螺栓检测仪测量不确定度的评定与分析

高强螺栓检测仪扭矩传感器的校准工作较为繁琐,需要强度较高的工装件将扭矩传感器和扭矩标准机轴头进行连接,且工装件的加工精度对扭矩的测量结果有一定影响。本文介绍了高强螺栓检测仪(扭矩部分)测量不确定度的评定方法及分析。