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1.
在分析了硅基上金属线圈的串联电阻、金属层厚度等在低频和高频的情况下对Q的影响及原因的基础上,提出了一种在硅杯表面采用浓硼扩散区与镀金属膜形成的欧姆接触电极作为内引线的硅基电感的新制造方法。设计了硅基电感的版图尺寸和相关的工艺流程,用IntelliSuite软件模拟验证了工艺流程的可能性,再利用Ansys有限元软件中的电磁分析模块模拟了电流与磁感应强度的关系、衬底涡流分布等,为平面电感的理论与实验的进一步比较分析提供了参考依据。在研制过程中发现影响电感性能好坏的主要因素是衬底涡流效应,为此提出了在矩形硅杯膜上制作电感的方法,为了进一步减薄金属电感线圈衬底的厚度,在硅杯膜背面采用激光打孔得到了膜厚约为5μm的衬底,从而可以使衬底中的涡流大幅度减少、电感的Q值得到很大提高。此外,提出的新制造方法采用了绝缘性能比SiO2好的Al2O3薄膜作为电感线圈与衬底之间的绝缘层。结果表明,设计的平面螺旋电感具有制造工艺简单、与IC工艺相兼容的优点,有广泛的应用前景。 相似文献
2.
3.
小波互信息及其在心电分析中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
为探究信号小波成分中的有用信息,提出了从小波变换(WT)系数和多层小波分解(WD)成分的延时互信息(MI)得出信号分析指标的新方法.以年轻(21~34岁)与年老(68~81岁)二组健康人心电图(ECG)为实验数据,用Symlets 4为母小波对ECG进行WT和WD,计算出MI与心率周期对应的极大值(LM)和表示该波峰形态特征的波形宽度(WW)等多个特征指标.结果表明,在尺度a=12时的WT系数及第3层细节的LM都是年轻组明显小于年老组(P<0.001),第2层近似和第3层细节的WW都是年轻组明显大于年老组(P<0.001).ECG的延时互信息可揭示出心率变异性随年龄而减少. 相似文献
4.
本文使用大型通用有限元软件ABAQUS研究冷弯薄壁型钢复合墙体的抗震性能,分析高宽比、墙体的水平拉筋等参数对冷弯薄壁型钢复合墙体抗震性能的影响.研究表明:随着冷弯薄壁型钢墙体的高宽比增加,墙体的抗剪承载能力逐渐降低,但墙体的变形能力逐渐增强.墙体的水平拉筋可以增强墙体的整体性能,当拉筋间距较小时,可有效提高墙体的延性,随着水平拉结筋间距增大,墙体的抗剪承载力逐渐降低,屈服荷载和极限荷载也随之降低. 相似文献
5.
6.
7.
针对普通滤光片通常采用不多于3片组合方式,不能满足特殊测量范围要求的情况,利用单轴晶体的双折射效应及偏光干涉原理来研究双折射滤光片的滤光原理及其参数特性,在综合考虑各种参数的前提下,应用近似理论条件,研究设计了4片组合的石英晶体双折射滤光片,分析了设计滤光片所需要的各个参数,给出了4片组合双折射滤光片的透射曲线。此双折射滤光片的透射光谱具有透射带宽得到很大压窄、次峰的透过率被抑制在8%以下等特点。当它被用在脉冲激光器中时,具有550nm至1200nm的宽调谐范围。可以知道,设计滤光片的关键是各个参数的选取,利用法布里-珀罗干涉仪可以压窄光谱线宽。 相似文献
8.
设计了一种基于SOI衬底且由新型磁敏晶体管组成的磁敏测量电路。理论分析了n^+-π-n^+晶体管基区长度大于载流子有效扩散长度Leff时的磁灵敏度。该磁敏晶体管可应用于磁场的测量,实验结果表明在磁场B=0.1T时,这种新型结构给出高的磁灵敏度即△Ic/Ic≈20%,并且有很好的电控制特性。该磁敏晶体管的槽形复合区采用MEMS技术制造。 相似文献
9.
SHI Meng WU Fu-quan WANG Hai-long HAO Dian-zhong 《光电子快报》2006,2(2):98-101
Thebeamsplitters(BS)havedemonstratedwideap plicationinmanyopticalsystemsandplayakeyrolein interferometryandholography[1].ThemechanismofBScanbedividedintotwocategories:oneutilizesthereflec tionandrefractionontheinterfacebetweentwodielec tricmedia;theotheru… 相似文献
10.