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Ⅰ线光致抗蚀剂可以同时实用电子束和光学系统曝光,在50kV加速电压下,其曝光剂量为50-100μC/cm^2,曝光后在0.7%NaOH溶液内显影1分钟。其灵敏度比PMMA快5倍,分辩率为0.5μm。采用两方法制备CaAsPHEMT:一种用Ⅰ线光致抗蚀剂,对源、漏及栅全部都采用电子束曝光,制备了0.5μm栅长的GaAs PHEMT;另一种将源、漏及栅分割成两部分,其中精细部分由电子束曝光,其余部分由光学系统曝光,用这种方法制备了0.25μm栅长的GaAs PHEMT。Ⅰ 相似文献
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用电子自旋共振对国内几种典型合成油,基础油及加有添加剂的基础油,分别在不同温度下测定生成自由基的相对浓度,以及一定温度下放置一段时间自由基衰减情况,来考察导热油的热稳定性。 相似文献
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在长冈电站大坝坝基白垩纪地层中的夹层,因受邻近断层与火成岩体的侵入影响,基岩硅化变质,岩性致密坚硬,力学强度甚佳,夹层虽较上下围岩为差,属坝基剖面中的一个弱面,但却仍具有一定的强度,工程建筑特性并不很低劣,很有其特殊性。笔者系根据它的成因,分布与性状,命名为块裂岩体缓倾角层面裂隙挤压破碎夹层,以软弱夹层中的一种特例进行工程地质条件的论述与评价,同时对该坝基深层抗滑稳定及其侧向切割面的抗滑力问题进行了分析,并对加固处理措施进行了探讨。但由于笔者水平所限,不当之处,敬希指正。 相似文献
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本文针对一典型的电液传动装置提出了一种控制器.该控制器实际上是带有少量外围设
备的单板机.文中叙述了控制系统模型、理论分析、综合的方法以及仿真研究和在线控制实验
的结果. 相似文献
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