用微机械技术的光集成传感器

硅单晶作为半导体材料具有优良的特性,它是一种硬度、拉伸强度和杨氏模量较大、机械性能也较好的材料.半导体工艺技术在硅单晶材料中可以充分发挥作用.因此,在硅单晶基板上利用微机械技术作成三维结构,试图把它作为坚固的机械结构与器件组合在一起使用.     

东京大学物性研究所

该所是研究物质的各种性质的研究机构.成立于1957年4月,位于东京市内.该所是附属于东京大学的国家开放研究所(全国共有12所),现有职工200多人,其中高级职称人员有50多人,每年接纳约1万多人来所工作.该所的宗旨是利用各种手段进行综合性研究,为将来物质的新的应用打基础.各种研究部门1.极限物性部门①超强磁场将电容器蓄存的电能一瞬间在线圈中放电以得到10~6高斯的超强磁场,进行各种物     

微机械单元技术的动向

本文从加工、组装、传感器、测量、执行元件等方面，叙述微机械单元技术的动向。     

微机械电子学在传感器方面的应用

微机械和光器件集成的新的技术领域,叫做光微动力学.它的目的是利用光的非接触和遥控操作功能为微机械提供新的光传感器和光驱动机械.具体的有用光的热作用起振的微小振子,用光的直接力作用(光压)的微动控制技术等方案.传统的光(激光)是光通信、光存储、光信息处理、光计测等,主要是利用空间控制和时间控制的观点来应用.这里是以微领域为对象的,利用光具有的能量.     

晶体缺陷的光散射层析法研究

所谓光散射层析法,就是用一束光扫描晶体样品,同时用照相机把晶体中的散射光拍摄出来,得到类似于X射线形貌图的照片。通过光散射照片可以知道晶体的缺陷及其性质。本方法可作非破坏性缺陷的三维空间分析。只要晶体对扫描波长是透明的,就可以使用这种方法观察晶体缺陷。对X射线质量吸收系数大的晶体来说,这种方法显得更优越,那就是不需要精制的X射线形貌用的薄片样品。本方法也可用于金刚石、宝石类的非破坏性检查。本文介绍光散射层析法的原理及实验。     

羟基磷灰石的光学方法研究

研究了一种在医用金属表面涂覆以羟基磷灰石为主要成份的生物活性材料的新技术：溶胶一凝胶烧结涂层法工艺。制备出了新型生物活性材料涂层人工齿根。利用X光衍射、扫描电镜、能谱分析等手段研究了涂层的物相组成,并测量了涂层的厚度及气孔率。     

超高灵敏CCD摄像机

对微弱光的摄象技术有时要求很高，以往一般的摄像方法是使用超高灵敏摄象机。具有代表性的是SIT式(Silicon Intensified)摄象机。随着技术的进步，该摄象机被微通道板图象放大器和CCD相结合的ICCD摄象机所取代。称为COOLED CCD摄象机，不