电感耦合高频等离子体(ICP)光谱分析工业硅及纯硅中杂质元素

纯硅中杂质元素的分析,早已采用中子活化,光谱、质谱、极谱等方法进行分析,但对其中硼的测定往往采用单独的分析方法.尤其是工业硅中铁、铝、钙等元素含量高,给其它微量杂质的测定带来困难.因此,上述方法很难满足要求,本文提出了用ICP作光源,同时测定工业硅及纯硅中硼、锰、铁、镁、钒、铜、钛、镍、铬、铝等元素的分析方法.