感应耦合射频等离子体(英)

本文根据Maher Ⅰ.Boulos的“感应耦合射频等离子体”一文,重点介绍其中的感应耦合射频等离子体的基本原理,主要的设计特点和应用部分。     

高频等离子法制取超细Si_3N_4粉末

本文述及高频等离子法制取超细Si_3N_4粉末的原理、装置,工艺参数及粉末性能的一些检测结果。利用SiCl_4+NH_3气-气相反应,所得白色粉末含有NH_4Cl晶体,热重分析表明350℃失重停止,280℃失重速率最快,经400～700℃处理后的粉末仍为非晶,不含NH_4Cl,BET测得比表面积为75.8 m~2/g,X光小角度散射法测粒子半径分布主峰R为100～150,且符合正态对数分布规律,平均直径=527;1400℃处理后,X光衍射测得主相为α-Si_3N_4、次相为Si_2N_2O,粒径明显长大,平均直径达1700。     

等离子体沉积制造光波导评述

本文对应用高气压和低气压等离子体沉积法制造光波导作了评述。首先概略地讨论了光波导的工作原理、类型及其制造要求,接着叙述了光纤制造的各种方法。详细阐明和比较了等离子体外沉积(POD)、等子体增强化学汽相沉积(PMCVD)和低气压等离子体活化化学汽相沉积(PCVD)方法。     

高频感应纯氢等离子体炉的研究

高频感应纯氢等离子体有重要的应用前景,但实现这一技术难度较大,我们所知,国外只有美国TAFF实现了这一技术。本文详细地分析了纯氢等离子体的特点和实现纯氢等离子体的理论和技术问题,解决了放电特性,放电功率,放电半径和等离子体电阻等重要参数的计算方法和计算问题,提出了选择高频设备和等离子炬参数的依据,并导出包括各影响因素的效率表达式,正确地选择了设备和关键参数,解决了关键的技术问题,实现了纯氢等离子体,为纯氢等离子体炉的发展提供了基础。     

高频感应耦合等离子体炬设计分析

近廿多年来对高频感应耦合等离子体炬进行了很多理论研究和实验,也发展了一些不同结构型式的等离子体炬。本文全面地分析等离子体炬设计及重要参数选择的依据和方法,特别对金属水冷等离子体炬进行了详细的分析和讨论。     

高频等离子体合成Si_3N_4超细粉料

本文研究了用高频等离子体合成Si_3N_4超细粉料.进行了合成系统的设计、参数选择,发展了利用“磁泵”效应把反应气体送入弧区和用氢气调整高频机——等离子体负载匹配的方法,分析了反应过程,作了数值计算,并制取了Si_3N_4超细粉料.     

简论框格式软体排护脚新技术

本文阐述了框格式软体排护脚新技术在河道险工整治中的作用及其技术的有关设计要点,并总结了吉林省推广应用框格式软体排新技术的方法和在河道险工治理后的效果及作用。     

网格式护坡新技术

本文介绍了石笼网格、土工植草固土网垫、土工织物隔离层和草皮植被护面为一体的复合型护坡新技术的应用研究，及其取得的良好防护效果和工程效益。