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杜兴益 《有色金属材料与工程》1991,(5)
实验指出,内圆切片机切片时,采用负向切片,对提高硅片均匀性及便于机械手取片是可取的,但会增加修刀次数,降低刀片寿命。掌握刀片刃口和基面的修磨技术是提高刀片寿命的关键。 相似文献
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