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为了制造性能优良的面垒型辐射探测器,需要具有高电阻率、杂质分布均匀的优质 N 型硅单晶。中子嬗变掺杂(neutron transmutation dop-ing)技术,掺杂的均匀性和可控性均优于其它掺杂方法。应用这种方法,将超高纯 P 型硅经过中子辐照,可以制成电阻率高于10KQ·cm 的 N 型非本征硅,称为 NTD 硅,可以符合制造探测器的要求。 相似文献
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杨启基 《浙江大学学报(工学版)》1992,26(3):364-367
真空区熔特高阻硅单晶是一种纯度很高的硅材料,它是制造配置于测量仪器中的各种高阻硅探测器的基础材料。本文对硅单品导电型号、电阻率及其不均匀性、少子寿命、晶体直径等方面进行了研究,取得很好的实验结果,其中P型硅单晶电阻率达(3-10)×10~4Ω·cm。 相似文献
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掺镓硅(Si∶Ga)单晶是制作8~14μm波段红外焦平面阵列光电导探测器的优良材料,它可实现探测器阵列与信号处理电子线路的集成化。真空FZ硅掺镓试验表明,镓在区熔过程中一边发生分凝,一边向外蒸发。采用高纯氢气(略大于latm,纯度99.9999%)作保护气氛后镓的蒸发被抑制,硅中镶浓度已达1.8×10~(16)atom/cm~3,且纵向均匀性大为改善。新的掺镓方法避免了对超高纯硅棒可能引入的沾污,保证了单品质量。 相似文献
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硅(锂)探测器级硅单晶既要纯度高、又要控制电阻率范围,并能制造成性能优良的探测器。本文从硅烷多晶硅的高纯特点出发,根据钼管多晶硅棒这一具体条件,提出了中心孔道掺杂法。平用此法后,P型硅单晶的电阻率能控制在1000~3000欧姆·厘米,与目标电阻率一致。电阻率均匀性也取得较大改善。中国原子能科学研究院用我校提供的这类硅单晶,制成了能量分辨率达157电子伏特的X射线探测器。 相似文献
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