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葛昶 《有色金属材料与工程》1980,(5)
硅单晶在半导体材料中占有极其重要的位置,而多晶硅的质量又是单品硅质量的基础,多晶硅质量的好坏又取决于化学提纯。精馏塔乃是化学提纯方法必不可少的物质条件之一。要获得高纯度的三氯氢硅,必须选择材料优质和高效的精馏塔。当前,聚四氟乙烯 相似文献
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葛昶 《有色金属材料与工程》1982,(3)
中国电子学会化学工艺学组第一届年会1982年5月在重庆北碚四川仪表总厂召开。会议从5月11日开始,至5月19日结束。来自全国各有关高等院校,研究单位和工厂172名代表参加了会议。这是我国第一次全国性 相似文献
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