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给出了一种测量高量程冲击加速度的硅微机械加速度传感器的设计和制造方法.加速度传感器采用整体式悬臂梁结构,在硅片平面内设计了两个分布方向相反结构相同的悬臂梁,每个悬臂梁顶端通过硼扩散形成两个压敏电阻,四个压敏电阻构成惠斯通全桥连接.悬臂梁两侧面和过载保护曲面采用DRIE技术加工,过载保护曲面设计成近似于冲击加速度传感器承受最大加速度时悬臂梁弯曲曲面的形状,一方面提高了悬臂梁过载保护能力,另一方面可以调节加速度传感器的工作阻尼至临界阻尼,有效提高了加速度传感器的工作频率带宽.分析和测试结果表明,加速度传感器的灵敏度达到3.024μV/g,工作频率带宽达到0~81 kHZ,量程达到0~50 000 g.加速度传感器的性能能够满足测量冲击过程的要求. 相似文献
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The LY12 Al alloy was brazed with the adoption of the improved KF-CsF-AlF3 flux matching Ag-Al-Cu-Zn filler metal. The shear strength of brazed joint could reach 80% of that of the substrate and the tensile strength of butt brazed joint will be 70% of that of the substrate. This was the great progress against the traditional claim that Al alloy reinforced by heat treatment could not be brazed. The experimental results and theoretical analysis had proved that it was the key issue to remove the MgO oxide film below 503℃. The addition of rare earth La was the effective way to obtain better mechanical properties of the filler metal as well as brazed joints. 相似文献
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根据气象产品发布现状,结合统一的Web Service对象封装技术,提出了一种跨平台、无缝集成的方案;采用Web Service技术发布气象产品,实现了跨平台和不同语言的应用集成,并能够使气象产品的发布速度更快、效率更高。 相似文献
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本文对虚拟机器人软件的产生背景进行了阐述,介绍了虚拟机器人软件的发展现状,并着重研究虚拟机器人软件的内在效益价值,以及如何更好地发挥提高其价值效益。 相似文献
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从粉末冶金行业的精确生产与优质高效的战略出发,简述粉末冶金行业用钨铼热电偶的特点、分类与使用。详细论述粉末冶金真空炉专用超高真空(10~5 Pa)、超高压(15 MPa)密封式热电偶及炉温均匀性测试等新型传感器。详细探讨真空炉测温准确度的影响因素:真空度、发射率、热导率、热响应时间及热电偶的插入深度、热电偶保护管的选择等;简介进口真空炉专用热电偶国产化研究,国内外温度传感器性能对比及替代进口真空炉热电偶的成功业绩。目前,对测温系统的检定,多采用分立元件法,即对构成测温系统的元件及仪表分别进行检定。此种检定方法是离线的。本文简述离线式检定方法的诸多弊端以及美国宇航标准(AMS 2750E)中,有关系统准确度校准的特点及要求。详细论述在线原位校准的最新理念,最佳的系统准确度校准方案,并开发出与其配套、行之有效的带有校准孔的热电偶及便携式在线校准仪。为了提高测温系统的准确度,建议采用在线原位校准,方便易行,现已在国内推广应用。 相似文献
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为解决教育资源共享的问题,使用jsp、servlet和mysql以及tomcat建立教育资源网站,使用xml作为Web Service的数据传输的载体,生成和解析数据,使用JUDDI自己构建Web Service注册服务器,进行Web Service的注册、发布、集成。利用Web Service的平台独立性和xml的跨平台性实现与平台无关的教育资源的订购,为将来建立平台无关的B2B网站打下基础。 相似文献
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