ZAO陶瓷烧结模型的研究

研究了ZAO靶材和纯ZnO的烧结过程，指出了两者在显微结构上的差别，并在此基础上，提出了两相粉体烧结模型。运用本模型，成功的解释了ZAO的显微结构形成的烧结机理。     

用纳米Al2O3制备超高致密度ZAO靶材

将ZAO原料粉体中的Al2O3粒子的粒径降低到纳米级别后，通过无压烧结即可获得超高致密度的ZAO陶瓷靶材(相对密度高于99．0％)。致密度大大提高的原因在于，Al2O3粒子粒径降到纳米级后，比表面积和粒子数目都大大增加，从而实现坯体同步均匀的烧结，避免了大气孔的产生。