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1.
化学气相沉积钨管开裂原因分析   总被引:1,自引:1,他引:0  
采用切环测量法及X射线应力分析方法对化学气相沉积制备的开裂钨管进行测量与分析。结果表明,在钨管内表面较大残余拉应力作用下,裂纹萌生于钨管内表面两个邻近柱状晶的晶界,沿柱状晶的晶界向钨管外壁扩展;钨管外表面存在较大的残余压应力对裂纹的继续扩展起阻碍作用。  相似文献   
2.
CVD钨沉积层组织控制   总被引:1,自引:0,他引:1  
以WF6和H2为反应气体,采用间断供应反应气体方法改变CVD钨沉积层显微组织形貌。研究了间断沉积工艺参数对沉积层显微组织及性能的影响,讨论了间断沉积层的表面应力状态及断口裂纹扩展情况。结果表明:采用间断化学气相沉积法钨层的显微组织随周期沉积时间的缩短,柱状晶晶粒长度尺寸变小,形态逐渐接近等轴晶;沉积层表面形貌呈圆球状,沉积层生长界面不再趋向于单一方向;钨层保持了连续CVD钨的高纯度、高密度特性。且采用间断供应反应气体沉积方法显著降低了钨制品表面的残余应力,使裂纹扩展方向发生改变,有效阻碍了裂纹的深入扩展。  相似文献   
3.
稀土储氢合金作为一种能源储存和转换材料已经广泛应用于节能与新能源产业。本文主要介绍了具有高储氢容量特性的超晶格La-Mg-Ni系、La-Y-Ni系稀土储氢合金材料的研究进展,比较了二个系列储氢材料在结构、性能和制备方面的异同,提出了今后研发方向的建议。  相似文献   
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