热媒式换热器在热风炉烟气余热回收技术中的应用

介绍了邯钢1260m^3高炉的热风炉采用日本新日铁公司的热媒式烟气余热回收技术的情况。实践证明，这种热媒式换热器回收像热风炉烟气这样较低温度的烟气余热效果是显著的。     

高热预算三维存储工艺中表面沟道PMOS研究

采用标准三维存储器工艺,制备作为外围器件的表面沟道PMOS管。存储单元制备过程中的高热预算对p型掺杂的多晶栅影响很大,尤其是金属硅化物作为栅极接触材料的p型多晶硅。对影响表面沟道PMOS管性能的因素进行研究,发现多晶硅侧墙氧化温度主导器件的性能。高温侧墙氧化引起严重的多晶硅耗尽,并导致高阈值电压。电容-电压曲线和二次离子质谱验证了这个现象。通过工艺优化,有效抑制了多晶硅耗尽程度,实现了可用于三维存储器的高性能表面沟道PMOS管。在1.2 V工作电压下,PMOS管的饱和电流可达120 μA/μm,漏电流低于1 pA/μm。