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1.
2.
采用CCl_2F_2/O_2的高深宽比硅槽的刻蚀 总被引:2,自引:0,他引:2
本文通过实验和对样品上钝化层成分的分析,提出了CCl2F2/O2混合气体对单晶硅的各向异性刻蚀机理:在一定功率下,CCl2F2离解出大量的CFx粒子和Cl粒子,在前者对样品的轰击下后者与轰击出的Si原子反应生成挥发性的SiCl4,产生刻蚀.O2的加入一方面形成钝化层SixOyFz保护侧壁,另一方面通过消耗CFx粒子减少其与Cl粒子的再结合而达到加速目的.探讨了在一定条件下压力和ICP功率对刻蚀速率和各向异性的影响.在大量实验的基础上优化各刻蚀参数,在ICP790设备上刻出了宽3μm,深16μm的窄槽, 相似文献
3.
简要介绍了RADIUS协议的基本概念,介绍了RFC3576协议的基本原理,阐述了如何基于RADIUS协议实现一套基于web的BRAS上网会话的主动控制系统。 相似文献
4.
5.
很多传统家电厂商早在几年前甚至十几年前就已经在涉足电子商务,同样,短短二三年仅依托于互联网平台而成长,以家电作为主销产品的网商更如雨后春笋般成长,销售规模达到千万元的也很不在少数,甚至有些品牌今年还将打造出亿元的家电专业网商。但时至今日,已经在电子商务市场中形成核心竞争优势的厂商还是聊聊无几。 相似文献
6.
介绍11R22.5 16PR无内胎全钢载重子午线轮胎的设计。结构设计:轮胎外直径1041mm,轮胎断面宽268mm,行驶面宽度200mm,行驶面弧度高6.5mm,胎圈着合直径571.5mm,胎圈着合宽度208.4mm,断面水平轴位置(H1/H2)1.0169,花纹深度11.5mm,花纹饱和度71.9%,采用4条条形花纹设计。施工设计:胎体采用1层高强度3×0.24+9×0.225CCHT钢丝帘线,带束层采用4层3×0.2+6×0.35HT钢丝帘线;采用一次法成型机成型,硫化机硫化。成品性能试验结果表明,成品轮胎充气外缘尺寸、强度性能、耐久性能和速度性能均符合相应国家和企业标准要求。 相似文献
7.
浅析软质炭黑生产过程中结焦的普遍性,同时根据我厂生产的具体情况,分析了反应炉、喉管频繁结焦的原因,并有针对性地采取了预防措施,从而降低了结焦次数,保证了生产的顺利进行。 相似文献
8.
对比研究3×0.24+9×0.225CCHT和3+9×0.22+0.15钢丝帘线在全钢载重子午线轮胎胎体中的应用。试验结果表明,与3+9×0.22+0.15钢丝帘线相比,3×0.24+9×0.225CCHT钢丝帘线的直径较小、线密度和破断力较大;以3×0.24+9×0.225CCHT钢丝帘线替代3+9×0.22+0.15钢丝帘线用于全钢载重子午线轮胎胎体帘布中,成品轮胎外缘尺寸符合国家标准要求,耐久性能提高,轮胎质量减小,生产成本降低。 相似文献
9.
10.
当前,指示克里格方法广泛应用在地质资源评价方面,但其实际应用中大多存在着使用条件不明,参数选择随意及数据处理不当等问题。为解决以上问题,本文首先回顾了指示克里格方法的基本原理,随后结合实例对该方法在应用中存在的问题进行了详细分析并给出了相应的解决方案,最终得出了以下结论:指示克里格法的合理应用要求样本数据满足强平稳性,当该条件不满足时,估值结果难以保证准确性;应用指示克里格法在不同阈值区间中使用的变差函数差别较大时,会产生严重的次序关系冲突问题,选择合理的阈值组合确保相邻子区间的变差函数平缓变化可以有效地减小这一问题;指示克里格的稳健性并不适用于对区域化变量在待估位置处的平均值进行估计,选择更为稳健的众数和中位数统计量代替阈值可以大大提高平均值估计对异常值和偏态分布的抗干扰能力,最终得到更为准确的估值结果。 相似文献