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冶金工业
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1.
溅射靶材的应用及制备初探
总被引:8,自引:0,他引:8
刘志坚
陈远星
黄伟嘉
黄华俭
《南方金属》
2003,(6):23-24,32
随着电子及信息产业突飞猛进的发展,世界溅射靶材的需求越来越多,本文介绍了靶材的发展概况、分类和应用情况,以及靶材的特性要求.探讨Ni-Cr合金靶材的制备工艺,结果表明,产品能满足靶材特性要求。
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