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研究了脉冲中子辐照的中子嬗变掺杂 (NTD)硅二极管中缺陷的形成及其退火特征 ,并与热中子辐照样品进行了比较。深能级瞬态谱仪 (DL TS)测量表明硅中主要存在五类电活性缺陷 :氧空位 E1(Ec- 0 .19e V) ,不同荷电态的双空位 E2 (Ec- 0 .2 8e V)和 E4 (Ec- 0 .4 0 e V) ,双空位与氧杂质相结合的络合物 E3 (Ec- 0 .31e V) ,以及与样品材料原生缺陷有关的辐照感生缺陷 E5(Ec- 0 .4 8e V)。实验结果表明 ,脉冲中子辐照由于其高的中子能量和辐照剂量率 ,导致复杂络合物的浓度高于简单缺陷浓度。进一步 4 0 0℃温度以下退火实验显示了缺陷的分解和重建过程 相似文献
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Disordered regions(DR) produced by neutron irradiation are highly effective for the degradation of minority carrier lifetime in silicon. In this paper we analyze the properties of the DR in detail, calculate the occupancies of defect states and the bending height of the energy band by means of the effectively generalizing of Schokly-Read-Hall statistical recombination theory to the DR, and present the self-consistent formulas for calculating degradation of minority carrier lifetime in the region, including the influences of defect concentration, band bending height, quasi -Fermi level as well as excess carrier density on the minority carrier lifetime. Finally, we make a comparision between the calculation results from the disordered region model and the point defect model and experimental results with detailed discussions. 相似文献
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用光致电流瞬态谱(PITS)方法研究了LECSI-GaAs原生单晶经常规退火和等时快速退火(RTA)深能级缺陷的变化。缺陷EL2(Ec-0.82eV)和EL12(Ec-0.79eV)表现出类似的RTA特性,应属于EL2缺陷团簇;缺陷EL6(Ec-0.38eV),EL8(Ec-0.27eV)和EL9(Ec-0.24eV)亦具有相似的RTA特性,属EL6缺陷团簇。实验发现,在热退火中,EL2团簇缺陷密度减少,则EL6团簇缺陷密度增加;反之亦然,取决于退火温度的高低,表明EL2,EL6团簇在原子结构上相关。文中由此讨论了两个主要缺陷EL2和EL6的可能构型。 相似文献
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InvestigationofEL2Defectin10MeVElectronIrradiatedUndopedSemi-insulatingLECGaAsWuFengmei,ShiYi,ChenWuming,WuHongweiandLaiQiji(... 相似文献
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RelationbetweenEL2GroupandEL6GroupinSI-GaAsWuFengmei吴凤美(Deportmentofphysics,NanjingUniversity,Nanjing210093,China)ZhaoZhouyin... 相似文献
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本文用雪崩热电子注入技术与MOS C-V技术,研究了软X射线辐照引入于SiO_2中的中性陷阱的性质.给出陷阱俘获截面σ为10~(-15)~10~(-16)cm~2,有效陷阱密度为10~(11)~10~(12)cm~(-2).发现陷阱密度随辐照时间的增加而升高,但很快趋于饱和;陷阱密度并随辐照强度的提高而增大.文中研究了室温及77°K下中性陷阱的俘获特性以及陷阱的解陷作用.还给出了陷阱的退火实验结果. 相似文献
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MOS结构的软X射线辐射损伤 总被引:1,自引:0,他引:1
本文报道了MOS结构受软X射线辐照的辐射损伤的研究结果.指出,软X射线辐照将引起了 SiO_2层中正电荷及SiO_2-Si界面界面态密度的增加,而且在SiO_2体内形成电子陷阱和中性陷阱.文中还报道了辐射损伤的退火结果. 相似文献